Den høje temperatur specialeffekt rør, alpine rør og højeffektive rør vedtage tre-mål, dobbelt-mål, og enkelt-mål magnetron sputtering proces henholdsvis;
Almindelige rør generelt vedtage single-target magnetron sputtering proces.
Den høje temperatur specialeffekt rør, alpine rør og højeffektive rør vedtage tre-mål, dobbelt-mål, og enkelt-mål magnetron sputtering proces henholdsvis;
Almindelige rør generelt vedtage single-target magnetron sputtering proces.